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3D共聚焦顯微鏡的作用及測(cè)量
3D共聚焦顯微鏡
采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤(pán)取代偵測(cè)器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)準(zhǔn)確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測(cè)量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更準(zhǔn)確量測(cè)物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。
一個(gè)特殊改裝的固定工作臺(tái)可以承載大體積高重量的測(cè)試物體,結(jié)合一個(gè)可以自由移動(dòng)的滾輪式工作臺(tái),μsurf mobile移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)可以輕易的傳輸并且設(shè)置在任意一個(gè)地方進(jìn)行使用。μsurf mobile特別為大體積樣品的測(cè)量而開(kāi)發(fā)。例如,軋輥和車身。由于其便攜性,它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf mobile移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)只需幾分鐘準(zhǔn)備便可進(jìn)行測(cè)量,并且可以方便地架設(shè)在測(cè)試對(duì)象上--因?yàn)樗闹亓恐挥?公斤。根據(jù)不同測(cè)量要求可以編輯不同的應(yīng)用方案。配有鼻輪和專業(yè)解決方案軟件的μsurf mobile移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)可滿足了各種各樣的測(cè)量任務(wù)。
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