主要特點
超精密全自動檢測,四軸CNC控制
提供多種行程規(guī)格配置,如222、322、432等
型號規(guī)格
型號 |
VMU222 | VMU322 | VMU432 | |
行程(mm)* |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
|
外型尺寸(mm) |
740×1040×1620 |
740×1040×1620 |
800×1240×1620 |
|
重量(kg) |
240 |
250 |
310 |
|
承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
|
檢測精度 |
XY軸(μm)** |
E2=(1.5+L/300) |
E2=(1.9+L/300) |
|
Z軸(μm)*** |
E1=(5.0+L/200) |
|||
速度 |
XY軸(mm/s |
500 |
||
Z軸(mm/s) |
100 |
|||
光柵尺 |
0.1μm Renishaw光柵尺 |
|||
導(dǎo)軌 |
THK |
|||
圖像傳感器 |
高清晰彩色工業(yè)攝像機 |
|||
光源 |
輪廓光 |
LED冷光源,256級亮度可調(diào) |
||
表面光**** |
6環(huán)8區(qū)LED冷光源,各段獨立操控,256級亮度可調(diào) |
|||
同軸光 |
LED冷光源,256級亮度可調(diào) |
|||
光學鏡頭 |
12.5:1連續(xù)變倍 |
|||
放大倍率***** |
光學放大倍率:0.6~7.5×;影像放大倍率:18~230× |
|||
軟件 |
Vispec軟件平臺(VMU版) |
|||
運動控制 |
CNC直流伺服系統(tǒng) |
|||
保修期 |
1年 |
|||
工作環(huán)境 |
溫度20℃±2℃,濕度30~80% |
|||
振動<0.002g,低于15Hz |
||||
電源 |
200~240V,50/60Hz,單相,700W |